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asml向中国出售光刻机是几纳米的

作者: 编辑: 来源: 发布日期: 2023.05.11 浏览次数:
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我们都知道近几年来美国限制了荷兰对中国光刻机的出口,目前仅有一种光刻机能出口给中国,那么是几纳米的呢?我们一起看看吧。目前aml的官网主要出…
我们都知道近几年来美国限制了荷兰对中国光刻机的出口,目前仅有一种光刻机能出口给中国,那么是几纳米的呢?我们一起看看吧。
光刻机
目前asml的官网主要出售的光刻机有三款型号,分别是NXT:2050i,NXT:2000i,NXT:1980Di,在这里面目前只有最低端的1980Di允许出售给中国,1980Di型号的DUV光刻机单次曝光精度为38nm,在多次曝光工艺下,能将芯片制程缩小到7nm。但是多次曝光费用和技术也随之上升,所以虽然我们能买到1980Di,但是想用其生产出7nm的芯片,还是很难。

台积电曾经用这种光刻机量产了7nm的芯片,目前以我们的水平,想通过这个光刻机量产7nm的芯片还是比较困难。我国目前能量产的光刻机是上海微电子的光刻机,28nm的光刻机也出来了,只是还没能达到量产的水平。

asml向中国出售光刻机是几纳米的?相信大家也知道答案是38nm了,但是这个数字并不能代表光刻机的最终性能水平,毕竟光刻机的性能除了分辨率还包括曝光速度、稳定性、精度等多个方面。而且即便是最先进的EUV光刻机,也只能制造出5纳米级别的芯片,距离3纳米的制程还有一段距离。不过,我们相信在中国科技人员的不懈努力下,未来一定能够生产出更加先进的光刻机,推动我国芯片产业的发展,让我们期待更美好的未来!

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